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SRT Valve
SRT阀是用于半导体制造工艺气体的精密控制装置。在3纳米及更先进制程中，实现气体流量的稳定、精确与快速调节，直接提升工艺一致性与产品良率。
►技术原理：
内置传感器实时监测压力与温度，主动调整输出，确保流量稳定。
采用音圈电机直接驱动阀芯，非接触式反馈， 无磨损、无滞后，寿命远超传统机械结构，持久精准。
通过智能流道设计，确保气体平稳流动，减少湍流波动。
►核心价值：
提升良率：气体流量长期稳定在±0.25%，减少工艺波动，良率更可预测。
降低成本：自适应调节节约15–20%气体用量，模块化设计降低维护成本70%。
保障生产：支持预测性维护，避免意外停机，平均无故障循环超200万次，设备始终在线。
►性能规格：
►结构设计：
模块化组装：驱动、阀体、控制三单元独立，支持快速更换，平均维修时间缩短70%。
材料耐腐蚀：阀体采用316L不锈钢，可选特种涂层，耐腐蚀性强，适用多种工艺气体。
密封无泄漏：金属-陶瓷复合密封，泄漏率远低于行业标准，安全可靠。
洁净无残留：流道表面电解抛光至Ra<0.1μm，Class 100环境组装，从源头控制污染。
►主要应用领域：
• 等离子体刻蚀设备
• 薄膜沉积设备（PVD/CVD/ALD等）
• 离子注入设备
• 快速热处理/扩散设备
• 干法清洗设备
