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SRT Valve
SRT阀是用于半导体制造工艺气体的精密控制装置。在3纳米及更先进制程中，实现气体流量的稳定、精确与快速调节，直接提升工艺一致性与产品良率。
►产品技术原理：
自适应控制：实时监测压力与温度变化，通过前馈算法主动补偿，消除环境干扰。
直驱定位系统：音圈电机直接驱动阀芯，非接触磁编码器反馈，无机械磨损。
优化流道设计：CFD仿真优化流道形状，确保气体层流状态，减少湍流波动。
►产品核心价值：
提升良率：将气体流量长期稳定性控制在±0.25%，减少工艺波动。
降低成本：自适应控制节约15-20%气体消耗，模块化设计降低70%维护成本。
保障生产：预测性维护避免非计划停机，平均无故障循环>200万次。
►性能规格：
►结构设计：
模块化设计：驱动、阀体、控制三单元独立，支持快速更换
材料方案：316L VIM-VAR不锈钢阀体，可选抗腐蚀涂层应对特种气体
密封系统：金属-陶瓷复合密封，泄漏率低于行业标准两个数量级
洁净处理：所有流道表面电解抛光至Ra<0.1μm，Class 100环境组装
►主要应用领域：
• 等离子体刻蚀设备
• 薄膜沉积设备（PVD/CVD/ALD等）
• 离子注入设备
• 快速热处理/扩散设备
• 干法清洗设备
