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AGV
►产品技术原理：
高精度混合导航：融合激光SLAM与视觉标签定位，实现±0.5mm重复定位精度，满足设备对接要求。
洁净室兼容设计：采用低释气材料与HEPA过滤系统，确保运行中颗粒释放符合ISO Class 3及以上标准。
主动减振控制：通过六轴传感器与电磁作动器，将传递至晶圆盒的振动加速度控制在0.1g以下。
集中智能调度：基于AI算法的车队管理系统（FMS），可协同调度百台以上AGV，动态优化路径，提升系统吞吐量。
►主要性能参数：
定位精度：重复定位精度 ±0.5mm
洁净度：运行中≥0.1μm颗粒释放＜1颗/m³
可靠性：平均故障间隔时间（MTBF）>20,000小时
持续运行：满电工作时间 >10小时，支持快充/换电
通信：无线网络延迟 <100ms，丢包率 <0.01%
安全标准：符合PLd/SIL2功能安全等级
►产品结构与设计：
模块化底盘：支持全向移动，最小转弯通道宽度1.8米。
标准化接口：兼容SEMI标准载具（FOUP/FOSB/光罩盒）。
多层安全防护：包括激光安全扫描、防撞触边、紧急停止按钮。
维护友好设计：关键部件支持模块化快速更换。
►主要应用领域：
• 等离子体刻蚀设备
• 薄膜沉积设备（PVD/CVD/ALD等）
• 离子注入设备
• 快速热处理/扩散设备
• 干法清洗设备
