机械手臂_江苏鑫赫尔曼科技有限公司

当前位置:鑫赫尔曼 > 产品中心 > 半导体设备零部件加工 >

prevnext

机械手臂

产品分类：半导体设备零部件加工

产品应用

设备内晶圆高速、多轴传送

产品工艺

直驱电机集成，真空兼容设计与密封

订购热线：18118873236

产品详情

- 来图定制 -

机械手臂

►产品技术原理：

通过高精度控制系统与洁净机械结构实现稳定搬运，含激光干涉仪反馈、直接驱动等技术，满足真空环境要求，通信延迟<0.5ms。

►产品工艺价值：

精度保障：直接影响光刻套刻精度，±1.5µm重复定位精度是满足当前<2nm套刻误差要求的基础。
污染控制：手臂是洁净室主要粒子来源之一，其洁净度直接决定缺陷密度，影响最终良率。
新材料适应：可处理碳化硅、氮化镓等硬脆材料及厚度<50µm超薄晶圆，避免隐裂与应力损伤。

►产品核心优势：

高可靠性：关键部件无限寿命设计，平均无故障时间（MTBF）>100,000小时，保障设备稳定运行。
预测性维护：内置传感器与机器学习算法，可提前数百小时预警故障，有效减少非计划停机。
模块化设计：支持快速更换与升级，适配未来450mm晶圆等新需求，延长设备生命周期。

►性能参数：

►结构设计：

臂体材料：采用碳纤维复合材料和钛合金，实现高刚度与轻量化，重量减轻40%。
末端执行器：使用导电PEEK或陶瓷材料，表面电阻10⁶–10⁸Ω/sq，防止静电吸附颗粒。
热管理：集成微流道温控系统，将关键结构温度波动控制在±0.1°C内，抑制热变形。

►应用领域：

• EFEM内置手臂：用于Load Port → Aligner → Process Module的晶圆传输。
• 真空传输手臂：用于传输腔与反应腔之间的晶圆交接。
• 适用设备：几乎所有单片处理设备，包括光刻机、涂胶显影机、清洗机、CMP等。

►发展趋势：

精度提升：面向2纳米以下制程，定位精度需达亚微米级。
智能化：集成AI算法，实现自适应抓取与路径优化。
可持续性：提高能效，使用环保材料，符合碳中和目标。

鑫赫尔曼生产车间简图介绍

* 表示必填采购：机械手臂

* 联系人：	请填写您的真实姓名
* 手机号码：	请填写您的联系电话
电子邮件：
* 采购意向描述：
	请填写采购的产品数量和产品描述，方便我们进行统一备货。

跟此产品相关的产品

: APC/ALD Valve

: SRT Valve

: AGV

咨询热线：18118873236

江苏鑫赫尔曼科技有限公司
电话：18118873236
技术服务工程师：13921539383
邮箱：781477208@qq.com
地址：无锡市锡山区东亭街道迎宾南路17号5楼502室

机械手臂

►产品技术原理：

►产品工艺价值：

►产品核心优势：

►性能参数：

►结构设计：

►应用领域：

►发展趋势：

鑫赫尔曼生产车间简图介绍

产品分类

半导体设备零部件加工

航天航空零部件加工

军工机械零部件加工

半导体真空自动阀

化学品特气原液

化学品特气供应系统

机械手臂

►产品技术原理：

►产品工艺价值：

►产品核心优势：

►性能参数：

►结构设计：

►应用领域：

►发展趋势：

鑫赫尔曼生产车间 简图介绍

产品分类

半导体设备零部件加工

航天航空零部件加工

军工机械零部件加工

半导体真空自动阀

化学品特气原液

化学品特气供应系统

鑫赫尔曼生产车间简图介绍